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ウエハー外周加工、トリミング加工、ナイフエッジ対策 事例 EDGE-加工 …

シリコン、サファイア、SiCなど多種材料のウェーハ外周部面取りを行う加工機「W-GMシリーズ」。 Siメーカーのみならず、化合物半導体、酸化物材料メーカーなど多方面にわたって高い評価を受けております。 またデバイスウェーハの最終工程において、ナイフエッジ起因によるウェーハの歩留り低下に対する面取り機の有効性が注目されております。 半導体製造工程において、ウェーハ製造からデバイス製造に至るまでエッジ特性の品質改善は必要不可欠なプロセスとなってきております。 その改善策を『品質向上、Coo（コストオブオーナーシップ）低減、歩留り向上』を達成する様々な提案をしてまいります。 加工実績はこちらへ 面取り機とは 面取機、エッジグラインダー、ベベリングマシン、芯取り機とも呼ばれる。 Web復華機械股份有限公司. 我們主力產品：鋁擠型模具開發及加工、各式客製化精密零件設計與量產、半導體封測、光電用精密載具、自動化機械組裝及生產。 Webスライスされたウェーハの面取り加工を行います。 これにより、ウェーハ端面のチッピングなどを抑制する事ができます。 ラッピング ウェーハ表面に残った歪み層を除去したり、 厚みを平滑化する為にウェーハ両面を … fs17 motor pack